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申请/专利权人：东洋纺艾睦希株式会社
摘要：在本发明的气体处理装置中，处理槽具有供由吸附件进行吸附处理后的被处理气体即处理气体导入的处理槽下游腔室，在所述处理槽下游腔室连接有：排出所述处理气体的取出流路、用于供给对该处理槽下游腔室进行吹扫的吹扫气体的吹扫气体供给流路、以及从该处理槽下游腔室排出所述吹扫气体的吹扫气体取出流路。
主权项：1.一种气体处理装置，其具备处理槽，所述处理槽具有能够进行有机溶剂的吸附脱附的吸附件，并且所述处理槽交替地进行吸附处理和脱附处理，所述吸附处理通过使含有所述有机溶剂的被处理气体与所述吸附件接触而利用所述吸附件吸附所述有机溶剂，所述脱附处理利用水蒸汽从所述吸附件脱附所述有机溶剂，其特征在于，所述处理槽具有处理槽下游腔室，所述处理槽下游腔室供由所述吸附件进行吸附处理后的被处理气体即处理气体导入，在所述处理槽下游腔室连接有：排出所述处理气体的取出流路、供给对该处理槽下游腔室进行吹扫的吹扫气体的吹扫气体供给流路、以及从该处理槽下游腔室排出所述吹扫气体的吹扫气体取出流路。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东洋纺艾睦希株式会社 气体处理装置及气体处理方法
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