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申请/专利权人：环球晶圆股份有限公司
摘要：公开拉锭设备，其包含用于将固体硅添加到坩埚组合件的硅进料管。所述硅进料管包含具有内径的导管部分及安置于所述导管部分下方的踢板。所述踢板跨所述导管部分的所述内径的至少60％延伸。
主权项：1.一种用于制造单晶硅锭的拉锭设备，所述拉锭设备包括：坩埚组合件，其用于固持硅熔融物；晶体拉锭外壳，其界定用于从所述硅熔融物提拉硅锭的生长腔室，所述坩埚组合件安置于所述生长腔室内；及硅进料管，其用于将固体硅添加到所述坩埚组合件，所述硅进料管包括：导管部分，其具有内径；及踢板，其安置于所述导管部分下方，所述踢板跨所述导管部分的所述内径的至少60％延伸。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 环球晶圆股份有限公司 具有带踢板的硅进料管的拉锭设备
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