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硅粒纯度过渡检测仓 

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申请/专利权人:湖北麦格森特新材料科技有限公司

摘要:本申请涉及硅粒纯度检测技术领域,尤其是涉及一种硅粒纯度过渡检测仓,包括存料罐、滤水管道、输送箱、排风扇、氢氟酸蓄罐、加热底座和收集组件,所述存料罐的下料口与所述滤水管道的顶部进水端相卡接,所述滤水管道的外侧贯穿所述输送箱的顶部内侧与所述输送箱的内表面紧密贴合,所述排风扇等间距排布在所述输送箱的外侧,所述氢氟酸蓄罐卡接在所述加热底座的顶部,所述收集组件螺纹连接在所述氢氟酸蓄罐的排气端外侧。本申请的硅粒纯度过渡检测仓,采用氢氟酸加热溶解的方式生成四氟化硅气体,并通过测量气体的体积或质量来计算硅的含量,从而间接反映硅粒的纯度,整体设备成本较低,且检测精准。

主权项:1.一种硅粒纯度过渡检测仓,其特征在于,包括溶解式纯度检测机构1,所述溶解式纯度检测机构1包括存料罐11、滤水管道12、输送箱13、排风扇14、氢氟酸蓄罐15、加热底座16和收集组件17,所述存料罐11的下料口与所述滤水管道12的顶部进水端相卡接,所述滤水管道12的外侧贯穿所述输送箱13的顶部内侧与所述输送箱13的内表面紧密贴合,所述排风扇14等间距排布在所述输送箱13的外侧,所述氢氟酸蓄罐15卡接在所述加热底座16的顶部,所述收集组件17螺纹连接在所述氢氟酸蓄罐15的排气端外侧,所述存料罐11的内部还设置有清洁组件2;所述收集组件17包括排气管171、氢氧化钠溶液管172、空心螺纹槽173和单向阀174,所述单向阀174安装在所述排气管171的外侧,所述排气管171的出气端内壁与所述空心螺纹槽173的外螺牙相螺接,所述空心螺纹槽173固定连接在所述氢氧化钠溶液管172的顶部,所述氢氧化钠溶液管172用于收集四氟化硅气体并溶于氢氧化钠溶液中转化为可测量的形式;在所述存料罐11内投入水并没过硅粒的整体高度,所述清洁组件2用于所述存料罐11内部水与硅粒的加速搅拌并清除硅粒的表面杂质,所述滤水管道12用于排水后的硅粒进行二次过滤并将硅粒导入到所述输送箱13的内部,所述排风扇14设置有四组,通过所述输送箱13配合四组所述排风扇14用于将粘有水滴的硅粒快速风干运输并抽送至所述氢氟酸蓄罐15的内部,所述氢氟酸蓄罐15在所述加热底座16的加热条件下将硅粒与内部的氢氟酸充分反应并生成氟化硅气体,所述排气管171在所述单向阀174的单向传输下将氟化硅气体输送至所述氢氧化钠溶液管172的内部充分溶解并转化为可测量的形式。

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