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申请/专利权人：江苏润玺环保设备有限公司
摘要：本发明公开了一种可自由调节固定喷头的半导体清洗设备，涉及半导体清洗技术领域，包括底座，所述底座的顶部安装有清洗仓，所述清洗仓内设置有浸泡仓，所述浸泡仓内设有可移动的放置台，所述浸泡仓内设置有用于驱动放置台移动的升降部件，所述放置台上设置有用于对半导体进行夹持固定的夹持组件，所述浸泡仓内壁上设置有存液仓，所述存液仓上连通有连接管，所述连接管的一端与浸泡仓连通，所述连接管上还设置有水泵，所述清洗仓内还设置有滑动座，通过启动往复驱动部件，使清洗刷在半导体表面进行往复移动，并配合喷洒头的喷洒，通过喷洒头的喷洒的清洗液可以软化或溶解半导体表面的污染物，而清洗刷的往复运动则可以将这些污染物从表面刷除。
主权项：1.一种可自由调节固定喷头的半导体清洗设备，其特征在于，包括底座1，所述底座1的顶部安装有清洗仓2，所述清洗仓2内设置有浸泡仓3，所述浸泡仓3内设有可移动的放置台4，所述浸泡仓3内设置有用于驱动放置台4移动的升降部件，所述放置台4上设置有用于对半导体进行夹持固定的夹持组件5，所述清洗仓2内壁上设置有存液仓6，所述存液仓6上连通有连接管7，所述连接管7的一端与浸泡仓3连通，所述连接管7上还设置有水泵8，所述清洗仓2内还设置有滑动座9，所述滑动座9内滑动设置有滑动板10，所述存液仓6的底部设置有波纹管11，所述波纹管11贯穿滑动板10向外延伸，所述波纹管11的延伸端安装有喷洒头12，所述滑动板10的底部设置有用于对半导体表面进行清理刷除的清理组件13，所述清理组件13与喷洒头12之间安装有驱动喷洒头12摇摆往复喷洒的的联动组件。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏润玺环保设备有限公司 一种可自由调节固定喷头的半导体清洗设备
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