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MEMS芯片、麦克风及电子设备 

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申请/专利权人:荣成歌尔微电子有限公司

摘要:本发明提供一种MEMS芯片、麦克风及电子设备,涉及麦克风技术领域,MEMS芯片包括检测层和与检测层电连接的第一焊盘组件,检测层面向进声孔设置,拾音模块包括拾音层和与拾音层电连接的第二焊盘组件,拾音层设置于检测层背离进声孔的一侧,检测层形成有供气体通过的透气孔。通过设置检测模块和拾音模块,检测模块和拾音模块能够分别独立进行,并且检测模块功耗很低,在待机状态下通过检测模块检测声压信号,用以判定是否需要开启拾音模块。该发明能够降低麦克风的功耗,延长麦克风的待机时长,减少电源的充电或更换。

主权项:1.一种MEMS芯片,其特征在于,包括基体、检测模块和拾音模块,所述基体形成有进声孔,所述检测模块包括检测层和与所述检测层电连接的第一焊盘组件,所述检测层面向所述进声孔设置,所述拾音模块包括拾音层和与所述拾音层电连接的第二焊盘组件,所述拾音层设置于所述检测层背离所述进声孔的一侧,所述检测层形成有供气体通过的透气孔。

全文数据:

权利要求:

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