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申请/专利权人：中国船舶集团有限公司第七一八研究所
摘要：本实用新型公开了一种MEMS催化燃烧式传感器封装结构，包括：传感元件组件、传感器帽及透气层；传感器帽内安装有中间挡板，中间挡板沿传感器帽的径向设置；传感器帽的开口端安装在传感元件组件的PCB板上，使得MEMS微加热片位于传感器帽的腔体内，且传感器帽的中间挡板的底面抵触在MEMS微加热片的上表面，中间挡板位于检测元件和补偿元件中间，将检测元件和补偿元件隔开；透气层的一端面设有同轴的圆形凸台；透气层的圆形凸台所在端端面安装在传感器帽的轴向通孔所在端外端面，且透气层的圆形凸台安装在传感器帽的轴向通孔内，并将传感器帽的轴向通孔封闭。本实用新型通过中间挡板将检测元件和补偿元件隔开，信号之间不干扰，提高传感器的灵敏度和稳定性。
主权项：1.一种MEMS催化燃烧式传感器封装结构，其特征在于，包括：传感元件组件、传感器帽及透气层；所述传感元件组件包括PCB板、MEMS微加热片、检测元件和补偿元件；MEMS微加热片安装在PCB板上，检测元件和补偿元件均通过悬臂梁结构并列安装在MEMS微加热片上的加热区；所述传感器帽为一端开口、一端加工有轴向通孔的圆筒结构；所述传感器帽内安装有中间挡板，中间挡板沿传感器帽的径向设置；所述传感器帽的开口端安装在传感元件组件的PCB板上，使得MEMS微加热片位于传感器帽的腔体内，且传感器帽的中间挡板的底面抵触在MEMS微加热片的上表面，中间挡板位于检测元件和补偿元件中间，将检测元件和补偿元件隔开；所述透气层为可通过气体的圆板结构，透气层的一端面设有同轴的圆形凸台；透气层的圆形凸台所在端端面安装在传感器帽的轴向通孔所在端外端面，且透气层的圆形凸台安装在传感器帽的轴向通孔内，并将传感器帽的轴向通孔封闭。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国船舶集团有限公司第七一八研究所 一种MEMS催化燃烧式传感器封装结构
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