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申请/专利权人：弗劳恩霍夫应用研究促进协会

摘要：提供了一种MEMS器件，MEMS器件包括层堆叠，层堆叠具有形成在第一层与第三层之间的至少一个第二层。在第二层中形成腔。MEMS器件进一步包括在腔内横向间隔开布置的两个横向可偏转元件。两个横向可偏转元件中的每一个包括连接至腔的侧壁的相应端部。另外，MEMS器件包括连接元件，连接元件连接至两个横向可偏转元件，以便耦接两个横向可偏转元件的移动。多个第一指状物在腔的侧壁上、离散地间隔布置在两个横向可偏转元件之间。进一步地，多个第二指状物在连接元件上、离散地间隔布置在两个横向可偏转元件之间。多个第二指状物与多个第一指状物交错。进一步地，在两个可横向偏转元件变形时，多个第二指状物能相对于多个第一指状物横向移位，使得多个第一指状物和多个第二指状物在腔内限定多个体积可变的子腔。多个子腔中的每一个经由相应的开口与MEMS器件的环境流体接触。在多个子腔的相邻子腔的情况下，相邻子腔中的一个子腔的相应开口形成在第一层、第二层和第三层中与相邻子腔中的另一个子腔的开口不同的层中。

主权项：1.一种MEMS器件，包括：层堆叠，所述层堆叠具有形成在第一层与第三层之间的至少一个第二层，其中，在所述第二层中形成腔；两个横向可偏转元件，所述两个横向可偏转元件在所述腔中横向间隔开布置，所述两个横向可偏转元件中的每一个包括连接至所述腔的侧壁的相应端部；连接元件，所述连接元件连接至所述两个横向可偏转元件，以便耦合所述两个横向可偏转元件的移动；多个第一指状物，所述多个第一指状物在所述腔的所述侧壁上、离散地间隔布置在所述两个横向可偏转元件之间；多个第二指状物，所述多个第二指状物在所述连接元件上、离散地间隔布置在所述两个横向可偏转元件之间，并且与所述多个第一指状物交错，在所述两个横向可偏转元件变形时，所述多个第二指状物相对于所述多个第一指状物横向可移位，使得所述多个第一指状物和所述多个第二指状物在所述腔内限定多个体积可变的子腔，其中，所述多个子腔中的每一个经由相应开口与所述MEMS器件的环境流体接触，并且其中，在所述多个子腔的相邻子腔的情况下，所述相邻子腔中的一个子腔的相应开口形成在所述第一层、所述第二层和所述第三层中与所述相邻子腔中的另一个子腔的所述开口不同的层中。

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百度查询： 弗劳恩霍夫应用研究促进协会 MEMS器件、包括MEMS器件的组件，以及操作MEMS器件的方法