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MEMS谐振器突发模式驱动电路 

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申请/专利权人:西安电子科技大学

摘要:本发明涉及MEMS谐振器突发模式驱动电路,属于微机电子机械系统技术领域,包括:CV转换电路用于获取谐振位移信号中的幅值信息;幅值自动增益控制电路用于产生MEMS谐振器的驱动信号并控制其谐振幅值;突发模式锁相环及驱动控制电路包括:突发模式驱动控制电路用于判断MEMS谐振器偏离稳态的程度,调整功耗门控信号的占空比,功耗门控信号通过CV电路可控电源和AGC电路可控电源控制CV转换电路和幅值自动增益控制电路开启与关断;突发模式锁相环用于相位锁定。本发明通过自适应控制CV转换电路和幅值自动增益控制电路的开启与关断,在动态降低驱动电路功耗的同时,保证MEMS谐振器在非恒定温度的下的快速启动。

主权项:1.一种MEMS谐振器突发模式驱动电路,其特征在于,包括:CV转换电路102,输入MEMS谐振器200的谐振位移信号,用于获取所述谐振位移信号中的幅值信息,得到第一参考信号并输出;幅值自动增益控制电路103,输入所述第一参考信号,用于提取所述第一参考信号中的幅值信息,得到幅值误差控制信号并输出;突发模式锁相环及驱动控制电路101包括:突发模式驱动控制电路10和突发模式锁相环20;所述突发模式驱动控制电路10,输入所述幅值误差控制信号,用于判断所述幅值误差控制信号偏离稳态的程度,比较所述幅值误差控制信号偏离稳态的程度和稳态阈值以得到判断结果,根据所述判断结果得到功耗门控信号并调整其占空比后输出;其中,所述稳态阈值通过外部输入;所述突发模式锁相环20,分别输入第一参考信号和功耗门控信号,用于相位锁定所述第一参考信号,得到第二参考信号并输出;所述幅值自动增益控制电路103,还输入第二参考信号,还用于根据所述幅值误差控制信号和所述第二参考信号得到差分驱动信号,并通过所述差分驱动信号驱动所述MEMS谐振器200;CV电路可控电源104,输入所述功耗门控信号,用于根据所述功耗门控信号控制所述CV转换电路102的开启与关断;AGC电路可控电源105,输入所述功耗门控信号,用于根据所述功耗门控信号控制所述幅值自动增益控制电路103的开启与关断。

全文数据:

权利要求:

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