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申请/专利权人：麦斯塔微电子(深圳)有限公司
摘要：本申请实施例公开了一种MEMS压电谐振器，该MEMS压电谐振器包括谐振体、锚固结构和梳齿组件。其中，谐振体接地；锚固结构与谐振体连接，以锚固谐振体，并使谐振体悬空；梳齿组件包括内梳齿结构和外梳齿结构，内梳齿结构设置于谐振体上，外梳齿结构与内梳齿结构相对设置，且外梳齿结构与内梳齿结构之间具有间隙，外梳齿结构用于接入直流电压，以使外梳齿结构与内梳齿结构之间产生静电力，从而改变MEMS压电谐振器的等效刚度，进而调整MEMS压电谐振器的谐振频率。
主权项：1.一种MEMS压电谐振器，其特征在于，包括：谐振体，所述谐振体接地；锚固结构，所述锚固结构与所述谐振体连接，以锚固所述谐振体，并使所述谐振体悬空；梳齿组件，所述梳齿组件包括内梳齿结构和外梳齿结构，所述内梳齿结构设置于所述谐振体上，所述外梳齿结构与所述内梳齿结构相对设置，且所述外梳齿结构与所述内梳齿结构之间具有间隙，所述外梳齿结构用于接入直流电压，以使所述外梳齿结构与所述内梳齿结构之间产生静电力。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 麦斯塔微电子(深圳)有限公司 MEMS压电谐振器
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