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一种纵向碳化硅器件 

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申请/专利权人:泰科天润半导体科技(北京)有限公司

摘要:本实用新型提供一种纵向碳化硅器件,包括:碳化硅衬底,漂移层,所述漂移层连接至所述碳化硅衬底的上侧面,所述漂移层中部设有源区;第一栅极绝缘区,所述第一栅极绝缘区底部连接至漂移层,所述第一栅极绝缘区右侧连接至源区左侧;第二栅极绝缘区,所述第二栅极绝缘区底部连接至漂移层,所述第二栅极绝缘区左侧连接至所述源区右侧;第一栅极金属层,所述第一栅极金属层设于所述第一栅极绝缘区内;第二栅极金属层,所述第二栅极金属层设于所述第二栅极绝缘区内;源极金属层,所述源极金属层连接至所述源区;以及,漏极金属层,所述漏极金属层连接至所述碳化硅衬底下侧面;使得器件栅控能力强以及体二极管续流能力强。

主权项:1.一种纵向碳化硅器件,其特征在于:包括:一碳化硅衬底,一漂移层,所述漂移层连接至所述碳化硅衬底的上侧面,所述漂移层中部设有源区;一第一栅极绝缘区,所述第一栅极绝缘区底部连接至漂移层,所述第一栅极绝缘区右侧连接至源区左侧;一第二栅极绝缘区,所述第二栅极绝缘区底部连接至漂移层,所述第二栅极绝缘区左侧连接至所述源区右侧;第一栅极金属层,所述第一栅极金属层设于所述第一栅极绝缘区内;第二栅极金属层,所述第二栅极金属层设于所述第二栅极绝缘区内;源极金属层,所述源极金属层连接至所述源区;以及,漏极金属层,所述漏极金属层连接至所述碳化硅衬底下侧面。

全文数据:

权利要求:

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