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申请/专利权人：金耀真空设备(中山)有限公司

摘要：本发明公开了一种可形成复合材料的共溅射阴极体镀膜设备，包括有镀膜腔体，镀膜腔体内设有腔室，腔室内设有分别沿长度方向设置且用于受带电粒子碰撞后向外溅射靶材粒子的平面阴极组件和旋转阴极组件，以及设置于平面阴极组件和旋转阴极组件上侧带动基材运动的基材滚动支架，镀膜腔体上设有用于控制平面阴极组件转动调节溅射角度的平面阴极角度调节组件和用于控制旋转阴极组件转动调节溅射角度的旋转阴极角度调节组件，结合旋转阴极和平面阴极可最大限度地发挥两种阴极的优势，实现各类型复合材料的形成，可利用不同材质的不同反应，形成各种需要的复合材料，通过阴极功率、气体流量、阴极磁场角度的调整，实现不同比例各类型复合材料的形成。

主权项：1.一种可形成复合材料的共溅射阴极体镀膜设备，其特征在于：包括有镀膜腔体（1），镀膜腔体（1）内设有腔室（2），腔室（2）内设有分别沿长度方向设置且用于受带电粒子碰撞后向外溅射靶材粒子的平面阴极组件（3）和旋转阴极组件（4），以及设置于平面阴极组件（3）和旋转阴极组件（4）上侧用于带动基材（5）运动的基材滚动支架（6），镀膜腔体（1）上设有用于控制平面阴极组件（3）转动调节溅射角度的平面阴极角度调节组件（7）和用于控制旋转阴极组件（4）转动调节溅射角度的旋转阴极角度调节组件（8）；平面阴极角度调节组件（7）包括有平面阴极转动电机（71）、平面阴极同步带轮（72）、传动轴（73）、平面阴极转动座（74）、小伞齿轮（75）、大伞齿轮（76）以及平面阴极转动支架（77），平面阴极转动电机（71）设置在镀膜腔体（1）上，平面阴极转动座（74）、平面阴极转动支架（77）分别设置在腔室（2）内，平面阴极组件（3）一端与平面阴极转动支架（77）连接且可在平面阴极转动支架（77）上转动，小伞齿轮（75）、大伞齿轮（76）分别设置在平面阴极转动座（74）内，大伞齿轮（76）与平面阴极组件（3）另一端连接，小伞齿轮（75）与大伞齿轮（76）啮合连接，平面阴极同步带轮（72）分别与平面阴极转动电机（71）转动端、传动轴（73）上端连接，传动轴（73）下端伸入平面阴极转动座（74）内且与小伞齿轮（75）连接；旋转阴极角度调节组件（8）包括有旋转阴极磁轭转动电机（81）、磁轭同步带（82）、旋转阴极转动座（83）、磁轭驱动端头（84）和旋转阴极转动支架（85），旋转阴极磁轭转动电机（81）设置在镀膜腔体（1）上，旋转阴极转动座（83）、旋转阴极转动支架（85）分别设置在腔室（2）内，旋转阴极组件（4）一端与旋转阴极转动支架（85）连接且可在旋转阴极转动支架（85）上转动，磁轭驱动端头（84）设置在旋转阴极转动座（83）内且与旋转阴极组件（4）另一端连接，磁轭同步带（82）分别与旋转阴极磁轭转动电机（81）、磁轭驱动端头（84）连接；腔室（2）内设有围绕旋转阴极组件（4）左侧、下侧和右侧设置的独立阳极组件（10），独立阳极组件（10）与旋转阴极组件（4）之间留有空隙且独立阳极组件（10）吸收该空隙间的带电粒子，独立阳极组件（10）包括有凵型阳极板（101），凵型阳极板（101）两侧分别设有阳极护板（102），凵型阳极板（101）与阳极护板（102）之间设有可供气体穿过的阳极气体板（103），阳极护板（102）上端设有向旋转阴极组件（4）弯折的阳极护板弯折部（104），且阳极护板弯折部（104）与凵型阳极板（101）不接触，凵型阳极板（101）与阳极护板（102）之间位于阳极气体板（103）下侧设有阳极绝缘垫（105），阳极绝缘垫（105）下侧连接有阳极连接底座（106），阳极连接底座（106）下侧设置在腔室（2）底面上，阳极绝缘垫（105）与阳极连接底座（106）之间设有阳极垫块（107）。

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