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申请/专利权人：光驰科技(上海)有限公司
摘要：本发明涉及薄膜制备技术领域，尤其是一种内置式结构紧凑型旋转阴极装置，包括阴极壳体、靶管、旋转驱动装置、冷却液管路、导电电刷及外部电源装置，其中靶管设置在阴极壳体内并通过单滚动轴承与旋转驱动装置构成传动连接以使靶管在旋转驱动装置的驱动下旋转，导电电刷与旋转驱动装置相连并与外部电源装置相导通，冷却液管路用于对靶管进行冷却。本发明的优点是：1单滚动轴承和动静环的密封结构配合使用极大的压缩了阴极端部的尺寸空间，提高了基片成膜的均匀区；2尾部取消了固定或支撑结构可以增加基片成膜的均匀区；3可以在有限的空间内，在不减小平面阴极装置基片均匀区的情况下可以实现装置的升级。
主权项：1.一种内置式结构紧凑型旋转阴极装置，其特征在于：包括阴极壳体、靶管、旋转驱动装置、冷却液管路、导电电刷及外部电源装置，其中所述靶管设置在所述阴极壳体内并通过单滚动轴承与所述旋转驱动装置构成传动连接以使所述靶管在所述旋转驱动装置的驱动下旋转，所述导电电刷与所述旋转驱动装置相连并与所述外部电源装置相导通，所述冷却液管路用于对所述靶管进行冷却；所述冷却液管路包括冷却液管接头、冷却液进液通道、冷却液回流通道，其中所述冷却液管接头分别设置在所述阴极壳体的冷却液进口及冷却液出口位置，所述冷却液进口连通所述冷却液进液通道，所述冷却液进液通道通过磁棒及所述靶管连通所述冷却液回流通道；在所述冷却液进液通道及所述冷却液回流通道于所述靶管的进出位置设置有用于密封的动静环；所述旋转驱动装置包括伺服电机、传动机构、芯轴传动机构，所述伺服电机通过所述传动机构与所述芯轴传动机构构成传动配合，所述芯轴传动机构与一靶管连接法兰相固定，所述靶管连接法兰与所述靶管相连接固定，使所述靶管在所述伺服电机的驱动下旋转；电流经过阴极壳体底座经导电电刷传动到所述芯轴传动机构，从而使所述靶管带电，在所述芯轴传动机构的外围设置有单个的滚动轴承，通过单滚动轴承保持靶管及芯轴的平稳转动；所述导电电刷为分体式电刷阵列机构；所述导电电刷通过碳刷弹簧压紧于所述芯轴传动机构上；所述导电电刷与用于实现冷却液密封的动静环处于同一高度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 光驰科技(上海)有限公司 内置式结构紧凑型旋转阴极装置
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