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申请/专利权人：沈阳工业大学
摘要：本发明涉及一种磁控溅射装置，尤其涉及一种旋转靶磁控溅射阴极磁场装置。其在直线运动区域进行溅射工作，可以提高靶材的溅射率和利用率。包括前后两磁体、靶材旋转机构、电场施加机构；几者均位于真空腔体内；其中，所述靶材旋转机构包括安装于柔性靶材固定架上的靶材，该柔性靶材固定架由皮带驱动机构带动旋转，柔性靶材固定架外部设置有用于降温的冷却箱，并通过电场施加机构为靶材施加电压；所述前磁体位于靶材旋转机构一侧，后磁体位于靶材旋转机构另一侧。
主权项：1.一种旋转靶磁控溅射阴极磁场装置，包括前后两磁体、靶材旋转机构、电场施加机构；其特征在于：几者均位于真空腔体内；其中，所述靶材旋转机构包括安装于柔性靶材固定架上的靶材，该柔性靶材固定架由皮带驱动机构带动旋转，柔性靶材固定架外部设置有用于降温的冷却箱，并通过电场施加机构为靶材施加电压；前磁体位于靶材旋转机构一侧，后磁体位于靶材旋转机构另一侧；所述柔性靶材固定架为上、下两环形跑道式结构，所述靶材为长条形；多个靶材竖直安装于上、下两环形跑道式结构之间，且两两靶材间均留有间隙；多个靶材间通过靶材连接通道相连；每个靶材的一端固定于上环形跑道式结构，每个靶材的一端固定于下环形跑道式结构；共同形成环形立体结构，该环形立体结构包括前后两半圆段及夹在两半圆段之间的两条直线段；所述柔性靶材固定架与皮带驱动机构相连，通过带轮皮带旋转，固定在柔性靶材固定架的靶材也会随之旋转；在柔性靶材固定架内部设置有竖直的左、右两隔离板，左、右两隔离板的底部均固定于真空腔体的底板上，左、右两隔离板之间设置有竖直的中间隔离板；中间隔离板一端固定于左隔离板上，中间隔离板另一端固定于右隔离板上；中间隔离板的前侧放置有一基体，中间隔离板的后侧放置有另一基体；且两基体均位于柔性靶材固定架内；所述皮带驱动机构包括两组皮带轮，分置于柔性靶材固定架内两半圆段内，每组皮带轮均包括上下两皮带轮，且两皮带轮上下同轴安装，且其中一皮带轮组作为主动组，由驱动电机相连，另一皮带轮路作为从动组；主动组与从动组间通过皮带动力连接；且柔性靶材固定架与皮带驱动机构的皮带相连，皮带传动，带动柔性靶材固定架旋转。
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权利要求：
百度查询： 沈阳工业大学 一种旋转靶磁控溅射阴极磁场装置
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