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申请/专利权人：河北工业大学
摘要：本发明公开了一种光催化辅助化学机械抛光液及其制备方法和应用。该化学机械抛光液由磨料、氧化剂、表面活性剂、pH调节剂和去离子水组成。该制备方法包括以下步骤：S1、在搅拌的条件下，将磨料、氧化剂和表面活性剂加入到去离子水中，搅拌均匀后，制得混合液；S2、在搅拌的条件下，将pH调节剂加入到混合液中，搅拌均匀后，得到pH为8～11.5的化学机械抛光液。所述光催化辅助化学机械抛光液的应用，将该化学机械抛光液与光源配合，用于化学机械抛光的精抛过程。本发明研制的化学机械抛光液极大地提高了化学机械抛光效率，能够获得高效低损伤、光滑平坦化的抛光材料表面。本发明采用二氧化铈作为化学机械抛光的磨料。
主权项：1.一种光催化辅助化学机械抛光液，其特征在于，该化学机械抛光液由磨料、氧化剂、表面活性剂、pH调节剂和去离子水组成。
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百度查询： 河北工业大学 一种光催化辅助化学机械抛光液及其制备方法和应用
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