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申请/专利权人：中国科学院光电技术研究所
摘要：本发明公开了一种用于石英玻璃表面超光滑加工的抛光液及其制备方法和应用，属于抛光液技术领域。所述抛光液包括以下组分：粒径为200nm‑300nm的氧化铈磨粒、去离子水、润滑油以及表面活性剂。本发明的抛光液能够改善氧化铈磨粒与石英玻璃表面的接触状态，避免划痕的产生，并有效降低表面粗糙度，获得高质量的超光滑表面。
主权项：1.一种用于石英玻璃表面超光滑加工的抛光液，其特征在于：按质量分数包括30%-35%的氧化铈磨料、13%-15%的润滑油、10%-15%的表面活性剂，余量为去离子水。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院光电技术研究所 一种用于石英玻璃表面超光滑加工的抛光液及其制备方法和应用
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