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申请/专利权人：杭州电子科技大学
摘要：本发明公开了一种基于多价态铜掺杂金属有机框架的芬顿‑化学机械抛光液及其制备方法和抛光方法，抛光液包括以下重量百分比的组分：0.1wt％～0.5wt％的铜掺杂金属有机框架、0.5wt％～2wt％的H2O2、5wt％～20wt％的磨料、0.01wt％～0.5wt％的pH调节剂、3wt％的助剂以及余量为去离子水；铜掺杂金属有机框架包括金属有机框架ZIF‑8和掺杂配位的多价态铜；多价态铜包括铜单质、正一价铜和正二价铜。本发明通过采用具有多孔、高比表面积、高活性位点结构的铜掺杂金属有机框架，利用ZIF‑8和多价态铜二者协同作用可极大提高催化活性，可在广域的pH范围内实现高效的芬顿‑化学机械抛光。
主权项：1.一种基于多价态铜掺杂金属有机框架的芬顿-化学机械抛光液，其特征在于，包括以下重量百分比的组分：0.1wt％～0.5wt％的铜掺杂金属有机框架、0.5wt％～2wt％的H2O2、5wt％～20wt％的磨料、0.01wt％～0.5wt％的pH调节剂、3wt％的助剂以及余量为去离子水；所述铜掺杂金属有机框架包括金属有机框架ZIF-8和掺杂配位的多价态铜；所述多价态铜包括铜单质、正一价铜和正二价铜中的一种或两种以上。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 杭州电子科技大学 一种基于多价态铜掺杂金属有机框架的芬顿-化学机械抛光液及其制备方法和抛光方法
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