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申请/专利权人：杭州电子科技大学
摘要：本发明公开了一种基于MIL‑101Fe的化学机械抛光液及其制备方法和抛光方法，抛光液A包括：0.5wt％～1wt％的MIL‑101Fe、20wt％～50wt％的磨料、0.1wt％～0.5wt％的pH调节剂、0.01wt％～0.05wt％的缓蚀剂、0.2wt％～1wt％的分散剂及余量为去离子水；抛光液B包括：1wt％～5wt％的过氧化氢及余量为去离子水。本发明所提供的双组份型抛光液，不仅可防止过氧化氢对其他有机组分的氧化作用，还可降低其无效分解；同时添加MIL‑101Fe可催化过氧化氢生成氢氧自由基，并在可见光辐照作用下，光生电荷可实现FeII循环再生，提高抛光效果和抛光效率。
主权项：1.一种基于MIL-101Fe的化学机械抛光液，其特征在于，包括抛光液A和抛光液B；所述抛光液A包括以下重量百分比的组分：0.5wt％～1wt％的MIL-101Fe、20wt％～50wt％的磨料、0.1wt％～0.5wt％的pH调节剂、0.01wt％～0.05wt％的缓蚀剂、0.2wt％～1wt％的分散剂以及余量为去离子水；所述抛光液B包括以下重量百分比的组分：1wt％～5wt％的过氧化氢以及余量为去离子水。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 杭州电子科技大学 一种基于MIL-101（Fe）的化学机械抛光液及其制备方法和抛光方法
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