龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：ASMIP私人控股有限公司
摘要：公开了形成包括粘合层的结构的方法和包括粘合层的结构。粘合层可以包括氮。该方法可以包括形成覆盖粘合层并与之接触的金属氧化物抗蚀剂。示例性方法还包括形成光致抗蚀剂底层。
主权项：1.一种形成包括粘合层的结构的方法，该方法包括以下步骤：在反应室内提供包括衬底表面的衬底；和使用覆盖衬底表面的第一循环沉积过程形成粘合层，形成粘合层的步骤包括：向反应室提供硅前体；将惰性气体和含氮反应物气体中的一种或多种提供到反应室中；以及形成等离子体以形成与硅前体或其衍生物反应以形成粘合层的活性物质，其中，粘合层包含硅、氧、碳和氮。
全文数据：
权利要求：
百度查询： ASMIP私人控股有限公司 包括光致抗蚀剂粘合层的结构及其形成方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号