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锍盐、光酸产生剂、固化性组合物和抗蚀剂组合物 

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申请/专利权人:三亚普罗股份有限公司

摘要:本发明提供一种新的锍盐和新的光酸产生剂等,上述锍盐对活性能量射线、特别是i射线或h射线具有高光感应性,上述光酸产生剂是含有锍盐而成的,上述锍盐对i射线或h射线具有高光感应性,且向溶剂和环氧化合物等阳离子聚合性化合物的溶解性高,在其配合物中储存稳定性优异。本发明是一种由下述通式1表示的锍盐和以含有该锍盐为特征的光酸产生剂等。

主权项:1.一种锍盐,由下述通式(1)表示, 式(1)中,R1和R2相互独立地表示碳原子数6~14的芳基,这些芳基的氢原子的一部分可以被取代基(t)取代,取代基(t)为碳原子数6~10的芳基,这些取代基(t)可以通过单键直接或者经由-SO-、-SO2-或-CO-表示的基团中的任一者与R1和R2键合,A1和A2相互独立地为选自氢原子、叔丁基、叔丁氧基、三甲基甲硅烷氧基中的基团,其中,A1和A2不同时为氢原子,T1和T2相互独立地表示碳原子数1~7的烷基、碳原子数1~7的烷氧基、碳原子数3~9的甲硅烷基、碳原子数3~9的甲硅烷氧基,m1和m2分别表示T1、T2的个数,m1为0~3的整数,m2为0~4的整数,L为-O-、-S-、-SO-或-SO2-表示的基团,S表示硫原子,O表示氧原子,C表示碳原子,X-为MYa-、(Rf)bPF6-b-、R3cBY4-c-、R3cGaY4-c-、R4SO3-、(R4SO2)3C-或(R4SO2)2N-表示的阴离子,在此,M表示磷原子、硼原子、砷原子或锑原子,Y表示卤素原子,Rf表示氢原子的80摩尔%以上被氟原子取代的烷基,P表示磷原子,F表示氟原子,R3表示至少一个氢原子被卤素原子、三氟甲基、硝基或氰基取代的苯基,B表示硼原子,Ga表示镓原子,R4表示碳原子数1~20的烷基、碳原子数1~20的全氟烷基或碳原子数6~20的芳基,S表示硫原子,O表示氧原子,C表示碳原子,N表示氮原子,a表示4~6的整数,b表示1~5的整数,c表示1~4的整数。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 三亚普罗股份有限公司 锍盐、光酸产生剂、固化性组合物和抗蚀剂组合物

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