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申请/专利权人：湖南初源新材料股份有限公司
摘要：本发明公开了一种感光干膜抗蚀剂、感光干膜及应用，其中所述感光干膜抗蚀剂包括以下重量份数的原料：碱溶性树脂45~65份、光聚合单体35~55份、光引发剂0.5~1.2份、增感剂0.035~0.045份。本发明的咔唑基蒽类的化合物结构是非对称结构，9，10位由不同的取代基构成，10位的咔唑基团跟蒽有较好的共轭作用，使得分子在405nm的吸收强度显著增加，能够吸收长波能量，有效固化深层体系，并且咔唑上的氨基与铜配位优异，发生反应形成络合物，增强与铜原子之间的结合力，使干膜抗蚀剂与铜基板的附着力得到提升，从而提高干膜抗蚀剂的抗电镀性。
主权项：1.一种感光干膜抗蚀剂，其特征在于，包括以下重量份数的原料：碱溶性树脂45～65份、光聚合单体35～55份、光引发剂0.5～1.2份、增感剂0.035～0.045份；所述光聚合单体为甲基丙烯酸酯类化合物；所述光引发剂为咔唑基蒽类化合物，结构如式Ⅰ所示： 其中：R为1～18个碳的烷基。
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权利要求：
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