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申请/专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
摘要：本发明涉及微电子制造设备技术领域，尤其涉及一种六自由度微动台，六自由度微动台由上台面、重力补偿阵列、竖直驱动电机、水平驱动电机和下底座组成，其中，重力补偿阵列由M×N个磁力悬浮器组成，以此来卸载台面和台面负载的重力，可以实现大承载力下的小行程六自由度运动。由于采用的磁悬浮技术，可控性更高，通过有效控制，可以达到较高的稳定性和较高的精度。同时，本发明结构形式简单，集成度高，制造成本低。
主权项：1.一种六自由度微动台，其特征在于，包括：上台面（1）、水平驱动电机（2）、竖直驱动电机（3）、重力补偿阵列（4）和下底座（5），其中，所述水平驱动电机（2）用于驱动所述上台面（1）在X、Y、Rz三个自由度的运动，所述竖直驱动电机（3）用于驱动所述上台面（1）在Z、Rx、Ry三个自由度的运动，所述重力补偿阵列（4）用于卸载所述上台面（1）以及上台面（1）所承载的载荷的重力。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种六自由度微动台
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