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一种导模法生长氧化镓晶体的模具与生长方法 

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申请/专利权人:杭州富加镓业科技有限公司

摘要:本发明涉及晶体生长技术领域,尤其涉及一种导模法生长氧化镓晶体的模具与生长方法。所述模具包括模具本体,所述模具本体的上方、且径向两侧均设置有台阶,其中,所述模具还包括设置于每侧台阶的径向侧面的加厚层。本发明将模具设计成为中间加厚,以减小模具上表面的温度梯度,使晶体更好的生长及尺寸的放大。本发明该模具可以有效减小模具的热变形,从而减少模具加工次数,降低加工成本。

主权项:1.一种导模法生长氧化镓晶体的模具,所述模具包括模具本体,所述模具本体的上方、且径向两侧均设置有台阶,其特征在于,所述模具还包括设置于每侧台阶的径向侧面的加厚层。

全文数据:

权利要求:

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