龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：崇辉半导体(江门)有限公司
摘要：一种半导体电镀液成分消耗动态检测方法及相关设备，涉及半导体技术领域。在该方法中，根据检测数据的变化率调整检测种类的采样频率，基于调整后的采样频率确定确定全局时间窗口的大小，以预设时间步长在时间轴上移动全局时间窗口，得到若干个连续全局时间窗口；选择时间差最小的连续全局时间窗口为目标时间点所属的连续全局时间窗口；判断所属的连续全局时间窗口内每种检测种类的检测数据的数量；对检测数据进行加权平均，作为所属的连续全局时间窗口内检测种类的代表值；获取目标时间点的所有检测种类的代表值，作为目标时间点的半导体电镀液成分消耗动态检测结果，用于及时发现异常情况、减少成本，适用于更多影响因素的加入。
主权项：1.一种半导体电镀液成分消耗动态检测方法，其特征在于，包括：定期获取目标液体中的若干个检测种类的检测数据，所述检测种类包括离子浓度、络合剂浓度、酸碱度和清澈度；根据所述检测数据的变化率调整所述检测种类的采样频率，其中，所述采样频率与所述变化率成正相关；基于调整后的采样频率确定所述检测种类对应的子时间窗口的大小，根据所述子时间窗口的大小确定全局时间窗口的大小，其中全局时间窗口内每个所述检测种类至少有一个所述检测数据；以预设时间步长在时间轴上移动所述全局时间窗口，得到若干个连续全局时间窗口；通过比较目标时间点与各所述连续全局时间窗口的中点的时间差，选择时间差最小的所述连续全局时间窗口为所述目标时间点所属的连续全局时间窗口；判断所述所属的连续全局时间窗口内每种检测种类的检测数据的数量；若所述检测种类的检测数据的数量不少于2个，则对所述检测数据进行加权平均，作为所述所属的连续全局时间窗口内检测种类的代表值；若所述检测种类的检测数据的数量少于2个，则所述检测数据作为所属的连续全局时间窗口内检测种类的代表值；获取目标时间点的所有检测种类的代表值，作为所述目标时间点的半导体电镀液成分消耗动态检测结果。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 崇辉半导体(江门)有限公司 一种半导体电镀液成分消耗动态检测方法及相关设备
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号