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申请/专利权人：江苏众诚达应用材料有限公司

摘要：本发明提供一种靶材检测系统及靶材检测方法，其中，靶材检测系统包括：上料机构、第一输送机构、下料机构、第二输送机构以及筛选机械臂；所述第一输送机构包括输送带、压力检测组件以及多个检测工装；多个所述检测工装固定设置在所述输送带上。通过采用全自动化式的靶材检测系统，来提高靶材的检测效率，通过设置多个检测工装，顺次进行检测，减少上下料过程中的时间消耗，提高了检测效率，同时采用一个检测工装可以对靶材的多种尺寸进行检测，进一步提高来了靶材的检测效率，减少了检测工装的成本。

主权项：1.一种靶材检测系统，其特征在于，包括：上料机构、第一输送机构、下料机构、第二输送机构以及筛选机械臂；所述上料机构设置在所述第一输送机构的进料端；所述下料机构设置在所述第一输送机构的出料端与所述第二输送机构的进料端之间；所述筛选机械臂设置在所述第二输送机构的侧方；所述第一输送机构包括输送带、压力检测组件以及多个检测工装；多个所述检测工装固定设置在所述输送带上；所述压力检测组件设置在所述输送带上方；所述上料机构适于将待检测靶材放入至所述检测工装上；所述压力检测组件适于将靶材推入所述检测工装中，并对靶材进行检测；所述下料机构适于将检测完毕之后的靶材取出后放至第二输送机构进行输送；所述筛选机械臂适于将不合格的靶材从所述第二输送机构中夹出；所述压力检测组件包括：压力传感器以及电动推杆；所述压力传感器固定设置在所述电动推杆的顶端；所述电动推杆适于将待检测靶材压入所述检测工装，且通过压力传感器检测电动推杆与待检测靶材之间的压力变化，构建压力变化曲线，并与预设曲线进行对比，完成对待检测靶材的检测；所述检测工装包括：检测盒、升降管以及复位弹簧；所述检测盒开设有圆形检测槽；所述升降管内设在所述圆形检测槽中，且与所述圆形检测槽的内壁贴合；所述复位弹簧设置在所述升降管与所述圆形检测槽的槽底之间；所述升降管的内壁沿径向向内设置有承托翻边；所述上料机构适于将待测靶材的靶体插入所述升降管中，且通过所述承托翻边对待测靶材的基板进行限位，完成对待测靶体的基板直径的检测；所述圆形检测槽的槽底沿周向设置有多个顶推件；所述顶推件为L型；所述顶推件的水平部滑动设置所述槽底上；所述顶推件的的竖直部的外壁与圆形检测槽的槽底圆心之间的距离大于待检测靶材的靶体的半径；所述顶推件的竖直部的内壁与圆形检测槽的槽底圆心之间的距离小于待检测靶材的靶体的半径；所述顶推件适于对待检测靶材的基板与靶体的同轴度进行检测，即，当电动推杆将待检测靶材继续向下推动时，待检测靶材的靶体的底面与所述顶推件的竖直部的顶部抵持；在待检测靶材的基板与靶体不同轴时，会导致顶推件将待检测靶材的靶体抵死，此时压力传感器检测到压力急剧升高，则表明待检测靶材不合格；在待检测靶材的基板与靶体同轴时，待检测靶材的靶体会将顶推件沿径向向外推动，此时压力传感器检测到压力平稳变化，表明基板与靶体同轴。

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