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申请/专利权人：株式会社日立高新技术
摘要：是判定通过处理装置进行样品的处理而得到的处理结果有无异常的异常检测装置，具有：加工形状预测部41，使用处理结果预测模型来预测处理装置的处理的评价值，其中，该处理结果预测模型将处理装置的控制参数值以及在处理装置的处理中观测处理装置内产生的现象而得到的观测参数值作为说明变量，将处理装置的处理的评价值作为目标变量；以及第一异常检测部43，基于设为判定对象的处理的评价值与设为判定对象的处理的预测评价值的差异来检测处理装置的处理结果的异常，其中，该预测评价值是通过将在设为判定对象的处理中使用的控制参数值以及在设为判定对象的处理中观测到的观测参数值输入到处理结果预测模型而预测的。
主权项：1.一种异常检测装置，判定通过处理装置进行样品的处理而得到的处理结果有无异常，其特征在于，所述异常检测装置具有：加工形状预测部，使用处理结果预测模型来预测所述处理装置的处理的评价值，其中，所述处理结果预测模型将所述处理装置的控制参数值以及在所述处理装置的处理中观测在所述处理装置内产生的现象而得到的观测参数值作为说明变量，将所述处理装置的处理的评价值作为目标变量；以及第一异常检测部，基于设为判定对象的处理的评价值与所述设为判定对象的处理的预测评价值的差异来检测所述处理装置的处理结果的异常，其中，所述设为判定对象的处理的预测评价值是通过将在所述设为判定对象的处理中使用的控制参数值以及在所述设为判定对象的处理中观测到的观测参数值输入到所述处理结果预测模型而预测的。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社日立高新技术 异常检测装置以及异常检测方法
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