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申请/专利权人：浙江众凌科技有限公司
摘要：本发明公开一种基于表面平坦度的蒸镀基材蚀刻装置及蚀刻方法，包括卷出机构、运输机构、张力补偿机构、张力检测机构、蚀刻机构；所述卷出机构表面缠绕有蒸镀基材，所述运输机构位于放卷装置材料输出的一侧，包括若干个用于输送基材的运输辊轴，张力补偿机构位于运输机构一侧，作用于蒸镀基材表面来调节基材松边一侧的张力来改善平坦度，所述张力检测机构位于张力补偿机构一侧，蚀刻机构位于张力检测机构一侧用于对基材进行蚀刻。本发明通过张力检测机构与张力补偿机构的配合来调整由于幅宽方向边缘两侧的I‑UNIT差值而导致的基材一侧不均匀，保证蒸镀基材蚀刻时的平坦度。
主权项：1.一种基于表面平坦度的蒸镀基材蚀刻装置，其特征在于，包括卷出机构1、运输机构2、张力补偿机构3、张力检测机构4、蚀刻机构5；所述卷出机构1表面缠绕有蒸镀基材，所述运输机构2位于卷出机构1材料输出的一侧，包括若干个用于输送蒸镀基材的运输辊轴21，张力补偿机构3位于运输机构2一侧，作用于蒸镀基材表面来调节蒸镀基材松边一侧的张力来改善平坦度，所述张力检测机构4位于张力补偿机构3一侧，用于测量蒸镀基材两侧的张力来判定蒸镀基材表面的平坦度状况，蚀刻机构5位于张力检测机构4一侧用于对蒸镀基材进行蚀刻；张力补偿机构3包括调整辊31和调节调整辊31倾斜角度的调节组件；所述调整辊31压于蒸镀基材表面来调节蒸镀基材一侧松边张力；所述调节组件包括位于调整辊31两端、用于调节调整辊31两端高度的调节座；所述蒸镀基材绕过张力检测机构4水平向后延伸入蚀刻机构5；所述调整辊31为两端直径不同的柱状结构；若干个运输辊轴21分别设置于基材的上下两侧，能够对基材进行张紧；所述调整辊31为被动转动，由材料前进带动调整辊31转动。
全文数据：
权利要求：
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