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一种用于不同膜层共腔蒸镀的蒸发源装置 

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申请/专利权人:安徽微迈思科技有限公司

摘要:本实用新型涉及蒸镀设备技术领域,尤其为一种用于不同膜层共腔蒸镀的蒸发源装置,包括基座、蒸发源、腔体和腔体盖板,所述基座上方设置有腔体,所述腔体用于容纳材料蒸汽;所述腔体内底部设置有蒸发源,所述蒸发源用于加热蒸镀材料使之气化蒸发;所述腔体顶端设置有腔体盖板,所述腔体盖板用于封闭腔体;该用于不同膜层共腔蒸镀的蒸发源装置,通过蒸发源对金属材料进行加热,金属材料蒸发后通过盖板上的通孔进入腔体,腔体内设置有阻挡板,阻挡板对金属蒸汽有导向作用,使得金属蒸汽均匀分布在腔体内,从而实现不同膜层的共腔蒸镀,本装置可实现不同膜层共腔蒸镀,提高生产效率,同时避免了材料浪费和环境污染。

主权项:1.一种用于不同膜层共腔蒸镀的蒸发源装置,其特征在于,包括:基座1、蒸发源2、腔体3和腔体盖板4,所述基座1上方设置有腔体3,所述腔体3用于容纳材料蒸汽;所述腔体3内底部设置有蒸发源2,所述蒸发源2用于加热蒸镀材料使之气化蒸发;所述腔体3顶端设置有腔体盖板4,所述腔体盖板4用于封闭腔体3。

全文数据:

权利要求:

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