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一种辅助蒸镀装置和蒸镀坩埚 

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申请/专利权人:京东方科技集团股份有限公司;重庆京东方显示技术有限公司

摘要:本公开提供一种辅助蒸镀装置和蒸镀装置,用于蒸镀坩埚中,所述辅助蒸镀装置包括:容纳结构,所述容纳结构包括底壁及其连接的侧壁;盖板,所述盖板与所述容纳结构的底壁、侧壁围成容纳空间;所述底壁和所述盖板均为网格结构;多个挡板,设置在所述容纳空间中,所述多个挡板将所述容纳空间分隔成多个容纳子空间。

主权项:1.一种辅助蒸镀装置,用于蒸镀坩埚中,其特征在于,所述辅助蒸镀装置包括:容纳结构,所述容纳结构包括底壁及其连接的侧壁;盖板,所述盖板与所述容纳结构的底壁、侧壁围成容纳空间;所述底壁和所述盖板均为网格结构;多个挡板,设置在所述容纳空间中,所述多个挡板将所述容纳空间分隔成多个容纳子空间,所述挡板的高度与所述容纳空间的高度的比值在80%~100%之间;所述辅助蒸镀装置还包括:第一支撑结构,所述第一支撑结构包括相对设置的第一连接件和第二连接件以及连接在二者之间的多个支撑柱,其中,所述第一连接件和所述第二连接件均为圆环结构,且所述第一连接件的外径大于或等于所述第二连接件的外径;所述容纳结构位于所述第一连接件上;卡箍,所述卡箍环绕所述盖板,且与所述盖板卡合;所述卡箍为具有缺口的开环结构,所述缺口两端设置有压覆件,所述压覆件的至少一部分覆盖在所述盖板上;所述辅助蒸镀装置还包括:第二支撑结构,所述第二支撑结构为带状,且所述第二支撑结构的两端交叠,以围成直径可调的环形结构,所述第二支撑结构的两端分别设置有第一勾部和第二勾部,所述第一勾部为弯折结构,其一部分朝向靠近所述容纳结构的方向延伸,另一部分朝向所述环形结构的中部延伸,所述第二勾部朝向所述环形结构的中部延伸,以防止所述第二支撑结构的直径过大。

全文数据:

权利要求:

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