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申请/专利权人：新创电子技术(东莞)有限公司
摘要：本实用新型公开了等离子蚀刻用石墨挡板，涉及等离子蚀刻技术领域，包括不锈钢内板，所述不锈钢内板内底侧设置有电动伸缩轴，所述电动伸缩轴上端设置有静电吸盘，所述静电吸盘外环侧设置有石墨挡环，所述石墨挡环内侧设置有内卡固槽，所述石墨挡环下侧面中心设置有内孔，所述内孔外侧环向设置有螺栓孔，所述不锈钢内板外侧设置有铁镍合金板。本实用新型通过设置的石墨挡环、内卡固槽和螺栓孔，使得石墨挡环通过内卡固槽卡固在静电吸盘外环侧，并通过螺钉将石墨挡环与静电吸盘连接固定，进而使得石墨挡环对静电吸盘的外边缘进行保护，避免静电吸盘外边缘在等离子体冲击作用下损坏，降低静电吸盘的更换频率，降低加工成本。
主权项：1.等离子蚀刻用石墨挡板，包括不锈钢内板5，其特征在于：所述不锈钢内板5内底侧设置有电动伸缩轴3，所述电动伸缩轴3上端设置有静电吸盘2，所述静电吸盘2外环侧设置有石墨挡环7，所述石墨挡环7内侧设置有内卡固槽11，所述石墨挡环7下侧面中心设置有内孔9，所述内孔9外侧环向设置有螺栓孔10，所述不锈钢内板5外侧设置有铁镍合金板8，所述铁镍合金板8外侧设置有铝层板6，所述铝层板6最外侧设置有石墨板框1。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 新创电子技术(东莞)有限公司 等离子蚀刻用石墨挡板
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