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申请/专利权人：广西飓芯科技有限责任公司
摘要：本发明属于发光半导体激光器技术领域，公开了一种含有部分渐变腔面膜半导体激光器及其制备方法。该半导体激光器包括排巴结构和部分渐变前腔面膜。通过使用不同高度的第一陪条和第二陪条将巴条进行间隔，并调节巴条和第一陪条排巴时位于前腔面膜处理时的高度，使第一陪条高出巴条，利用第一陪条的遮挡以及通过采用载盘旋转的方式改变巴条被遮挡的面积，进行沉积腔面膜的处理方式，使巴条腔面上的膜厚度呈现出部分渐变效果，并调整膜系设计将非出光区域反射率固定在极小值点附近，减小对光的反射，从而达到能够在不影响激光器出光的同时减少腔面上的高反射区域，抑制了光的横向传播，优化了激光器的光束质量。
主权项：1.一种含有部分渐变腔面膜的半导体激光器，其特征在于：包括排巴结构和部分渐变前腔面膜；所述排巴结构采用第一陪条、巴条、第二陪条、巴条、第一陪条、巴条、第二陪条、巴条和第一陪条进行周期性排列；所述部分渐变前腔面膜中远离激光器一侧的面为斜面。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 广西飓芯科技有限责任公司 一种含有部分渐变腔面膜的半导体激光器及其制备方法
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