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申请/专利权人：佛山紫熙慧众科技有限公司
摘要：本发明公开了一种实现一字线光斑的渐变周期光栅衍射元件及方法，根据入射光波长和所需一字线光斑的发散角得到光栅最小周期，然后以光栅最小周期为初始周期，逐步增加光栅的周期，以得到多个周期渐变的光栅，再将全部光栅按照周期递增规律放入衍射光学元件的微结构中，最终得到具有渐变周期光栅阵列的衍射光学元件，整个制备方法步骤简便，可操作性强；通过控制光栅的个数即可控制一字型线光斑的长度，满足对一字型线光斑长度的可控性要求；通过控制所述光栅的刻蚀深度，即可以使单个光栅实现一分二的分束功能，得到±1级的分束能量总和达到80％以上，且无中心亮点，得到光斑长度可控的线光斑，同时可以减弱衍射光对所得到线光斑的影响。
主权项：1.一种实现一字线光斑的渐变周期光栅衍射元件的制备方法，其特征在于，具体包括以下步骤：S1：根据光栅方程θ＝arcsinλd，得到最小的光栅周期d；其中θ为一字线光斑的发散角，λ为入射光的波长，d为最小的光栅周期；得到与该最小光栅周期对应的光栅结构，并定义该光栅结构为第一光栅；S2：设定预设周期递增步长；S3：使前一个光栅周期增加一个预设周期递增步长，得到第m+1个光栅周期，得到与该第m+1个光栅周期对应的光栅结构，并定义该光栅结构为第m+1个光栅，m为大于或等于1的整数；S4：重复执行S1，直到得到的全部光栅的周期之和等于衍射光学元件的总周期，将得到的全部光栅放入衍射光学元件的微结构中，最终得到具有渐变周期光栅阵列的衍射光学元件；S4具体包括以下步骤：s41：判断得到的全部光栅的周期之和是否等于衍射光学元件的总周期，是跳转至s42，否跳转至S3；s42：将得到的全部光栅放入衍射光学元件的微结构中，最终得到具有渐变周期光栅阵列的衍射光学元件。
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权利要求：
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