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申请/专利权人：西北工业大学
摘要：本发明属于低维氧化物薄膜器件技术领域，具体涉及一种钛酸锶氧化铪锆薄膜异质结及其制备方法和应用。本发明提供了一种钛酸锶氧化铪锆薄膜异质结，包括钛酸锶衬底和外延生长在所述钛酸锶衬底表面的氧化铪锆薄膜。在本发明中，高介电性、铁电性的氧化铪锆与高光电特性的刚性钛酸锶衬底形成互补，钛酸锶与氧化铪锆的界面处形成了二维电子气，提高了界面电子迁移率，界面电阻呈现金属态，可用于替代传统氧化铪基铁电器件中衬底与铁电薄膜间的底电极层，提高了氧化铪基铁电器件的集成度，有利于构筑多场响应铁电器件，降低了氧化铪基铁电器件生产成本，填补了现有技术中针对钛酸锶氧化铪锆薄膜异质结的研究的空白。
主权项：1.一种钛酸锶氧化铪锆薄膜异质结，其特征在于，包括钛酸锶衬底和外延生长在所述钛酸锶衬底表面的氧化铪锆薄膜。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西北工业大学 一种钛酸锶/氧化铪锆薄膜异质结及其制备方法和应用
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