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一种钛酸锶/氧化铪锆薄膜异质结及其制备方法和应用 

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申请/专利权人:西北工业大学

摘要:本发明属于低维氧化物薄膜器件技术领域,具体涉及一种钛酸锶氧化铪锆薄膜异质结及其制备方法和应用。本发明提供了一种钛酸锶氧化铪锆薄膜异质结,包括钛酸锶衬底和外延生长在所述钛酸锶衬底表面的氧化铪锆薄膜。在本发明中,高介电性、铁电性的氧化铪锆与高光电特性的刚性钛酸锶衬底形成互补,钛酸锶与氧化铪锆的界面处形成了二维电子气,提高了界面电子迁移率,界面电阻呈现金属态,可用于替代传统氧化铪基铁电器件中衬底与铁电薄膜间的底电极层,提高了氧化铪基铁电器件的集成度,有利于构筑多场响应铁电器件,降低了氧化铪基铁电器件生产成本,填补了现有技术中针对钛酸锶氧化铪锆薄膜异质结的研究的空白。

主权项:1.一种钛酸锶氧化铪锆薄膜异质结,其特征在于,包括钛酸锶衬底和外延生长在所述钛酸锶衬底表面的氧化铪锆薄膜。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 西北工业大学 一种钛酸锶/氧化铪锆薄膜异质结及其制备方法和应用

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