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申请/专利权人：中国航发北京航空材料研究院
摘要：本发明是一种化学气相沉积铪酸镝陶瓷涂层的制备方法，该方法采用Dy和Hf金属颗粒及相关工艺气体为原料，运用化学气相沉积技术，通过控制化学气相沉积设备的真空室加热温度、真空度、工艺气体类型和流量、沉积时间等因素，在镍基高温合金表面首先共沉积制备出Dy2O3和HfO2混合氧化物，然后再高温原位合成出具有萤石结构的Dy2Hf2O7陶瓷涂层。该陶瓷涂层具有高温相结构稳定、低热导、抗烧结、耐熔盐腐蚀和抗应变容限能力优异，适合于1300℃以上的高温焰流服役工况下使用，能改善航空发动机涡轮叶片热障涂层的隔热功效。
主权项：1.一种化学气相沉积铪酸镝陶瓷涂层的方法，其特征在于：该方法采用化学气相沉积工艺，以Dy和Hf金属颗粒及工艺气体为原料，在镍基高温合金表面首先共沉积制备出Dy2O3和HfO2混合氧化物，然后再高温原位合成出具有萤石结构的Dy2Hf2O7陶瓷涂层，该方法的工艺参数包括：A、固体材料为：Dy金属颗粒和Hf金属颗粒，金属颗粒纯度均大于98％，两种金属颗粒的尺寸均为Φ5mm×3mm；B、工艺气体为：H2气体、Ar气体、HCl气体和CO2气体，纯度均大于99.99％；C、以Dy和Hf金属颗粒为原料，在镍基高温合金表面共沉积Dy2O3和HfO2混合氧化物时，H2气体流量52Lmin～68Lmin、HCl气体流量6.6Lmin～8.2Lmin、CO2气体流量38Lmin～52Lmin、真空室的加热温度1180℃～1260℃、真空室的真空度30mbar～60mbar、沉积时间240min～300min；D、以Dy和Hf金属颗粒为原料，高温原位合成Dy2Hf2O7陶瓷涂层时，H2气体流量42Lmin～56Lmin、Ar气体流量18Lmin～26Lmin、真空室的加热温度1340℃～1480℃、真空室的真空度620mbar～740mbar、沉积时间120min～180min。
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