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申请/专利权人：香港科技大学(广州)
摘要：本申请公开了科研用黑灯湿法实验室，涉及半导体清洗刻蚀技术领域，包括实验室本体、湿法机台、移送机器人、样品给收设备、药液给收设备以及控制设备；实验室本体用于提供洁净空间；移送机器人包括移动装置、机械臂装置、至少一个末端执行器以及随行装置；随行装置能够跟随移动装置移动，并提供暂存空间；机械臂装置安装于移动装置上；至少一个末端执行器安装于机械臂装置上，用于抓取半导体样品和或药液罐；上述设计能够实现24小时不间断地运行实验以及无人值守，实现黑灯实验室；显著提升了科研的效率以及设备使用率，提高了实验结果的可靠性，降低了实验成本，有效保障实验人员的安全。
主权项：1.科研用黑灯湿法实验室，其特征在于，包括实验室本体、湿法机台（1）、移送机器人（2）、样品给收设备（3）、药液给收设备（4）以及控制设备（5）；所述实验室本体用于提供洁净空间；所述湿法机台（1）设置于所述洁净空间中，用于对半导体样品进行加工；所述样品给收设备（3）设置于所述洁净空间中，用于提供待加工的半导体样品以及对完成加工的半导体样品进行收纳；所述药液给收设备（4）设置于所述洁净空间中，用于提供待更换的药液罐（15）以及对更换下来的药液罐（15）进行收纳；所述移送机器人（2）安装于所述洁净空间中，用于在所述湿法机台（1）、所述移送机器人（2）、所述样品给收设备（3）以及所述药液给收设备（4）之间移送半导体样品和或药液罐（15）；所述移送机器人（2）包括移动装置（21）、机械臂装置（22）、至少一个末端执行器（23）以及随行装置（24）；所述随行装置（24）能够跟随所述移动装置（21）移动，并提供暂存空间；所述机械臂装置（22）安装于移动装置（21）上；至少一个所述末端执行器（23）安装于所述机械臂装置（22）上，用于抓取半导体样品和或药液罐（15）；所述控制设备（5）与所述湿法机台（1）、所述移送机器人（2）、所述样品给收设备（3）以及所述药液给收设备（4）通信连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 香港科技大学(广州) 科研用黑灯湿法实验室
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