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申请/专利权人：罗伯特·博世有限公司
摘要：本发明涉及一种用于确定晶圆1的质量状况的计算机实现的方法，其中，所述方法具有如下步骤：提供所述晶圆1的至少三个工艺监控测量值6，其中，每个工艺监控测量值6在所述晶圆1上的不同工艺监控坐标4处被收集；将所述至少三个工艺监控测量值6以及所述工艺监控测量值6的工艺监控坐标4输入到至少一个机器学习算法20中；通过所述至少一个机器学习算法20，输出至少三个近似的晶圆级测试值7；以及基于所述近似的晶圆级测试值7，确定所述晶圆1的质量状况。
主权项：1.一种用于确定晶圆1的质量状况的计算机实现的方法，其中，所述方法具有如下步骤：-提供所述晶圆1的至少三个工艺监控测量值6，其中，每个工艺监控测量值6在所述晶圆1上的不同工艺监控坐标4处被收集；-将所述至少三个工艺监控测量值6以及所述工艺监控测量值6的工艺监控坐标4输入到至少一个机器学习算法20中；-通过所述至少一个机器学习算法20，输出至少三个近似的晶圆级测试值7；-基于所述近似的晶圆级测试值7，确定所述晶圆1的质量状况。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 罗伯特·博世有限公司 用于确定晶圆的质量状况的计算机实现的方法
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