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用于确定晶圆的质量状况的计算机实现的方法 

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申请/专利权人:罗伯特·博世有限公司

摘要:本发明涉及一种用于确定晶圆1的质量状况的计算机实现的方法,其中,所述方法具有如下步骤:提供所述晶圆1的至少三个工艺监控测量值6,其中,每个工艺监控测量值6在所述晶圆1上的不同工艺监控坐标4处被收集;将所述至少三个工艺监控测量值6以及所述工艺监控测量值6的工艺监控坐标4输入到至少一个机器学习算法20中;通过所述至少一个机器学习算法20,输出至少三个近似的晶圆级测试值7;以及基于所述近似的晶圆级测试值7,确定所述晶圆1的质量状况。

主权项:1.一种用于确定晶圆1的质量状况的计算机实现的方法,其中,所述方法具有如下步骤:-提供所述晶圆1的至少三个工艺监控测量值6,其中,每个工艺监控测量值6在所述晶圆1上的不同工艺监控坐标4处被收集;-将所述至少三个工艺监控测量值6以及所述工艺监控测量值6的工艺监控坐标4输入到至少一个机器学习算法20中;-通过所述至少一个机器学习算法20,输出至少三个近似的晶圆级测试值7;-基于所述近似的晶圆级测试值7,确定所述晶圆1的质量状况。

全文数据:

权利要求:

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