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申请/专利权人:富士通光器件株式会社
摘要:本公开涉及光调制器元件、光发射器以及光收发器。光调制器元件包括肋光波导、第一薄膜、第一高浓度掺杂区和第一金属电极。该肋光波导包括具有PN结的肋部、连接到该肋部的P型区的P型平板区、以及连接到该肋部的N型区的N型平板区。第一薄膜形成在P型平板区上,并且第一薄膜的电子亲和能不同于用于P型平板区的材料的电子亲和能。第一高浓度掺杂区是P型平板区中的区域,该区域位于与肋部分离的位置处。第一金属电极电连接到第一高浓度掺杂区,第一高浓度掺杂区位于在P型平板区上形成有第一薄膜的P型平板区的外侧。
主权项:1.一种光调制器元件,所述光调制器元件包括:肋光波导,所述肋光波导包括具有PN结的肋部、连接到所述肋部的P型区的P型平板区、以及连接到所述肋部的N型区的N型平板区;第一薄膜,所述第一薄膜形成在所述P型平板区上并且所述第一薄膜的电子亲和能不同于用于所述P型平板区的材料的电子亲和能;所述P型平板区中的第一高浓度掺杂区,所述第一高浓度掺杂区位于与所述肋部分离的位置处;以及第一金属电极,所述第一金属电极电连接至所述第一高浓度掺杂区,所述第一高浓度掺杂区位于在所述P型平板区上形成有所述第一薄膜的所述P型平板区的外侧。
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权利要求:
百度查询: 富士通光器件株式会社 光调制器元件、光发射器以及光收发器
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