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申请/专利权人：索尼半导体解决方案公司
摘要：本发明的目的是提供一种垂直腔面发射激光器，其中，可以在不增加操作电压的情况下改善光输出。本发明提供一种垂直腔面发射激光器，该垂直腔面发射激光器依次包括第一多层膜反射镜、有源层和第二多层膜反射镜，第一多层膜反射镜和或第二多层膜反射镜具有层压有N个单元N是正整数的层压单元的层压结构，层压单元从有源层侧依次包括低折射率层、第一渐变层、高折射率层和第二渐变层，低折射率层、第一渐变层、高折射率层和第二渐变层的平均杂质浓度具有特定关系。
主权项：1.一种垂直腔面发射激光器，依次包括：第一多层反射器、有源层和第二多层反射器，其中，所述第一多层反射器和或所述第二多层反射器具有层叠有N个层叠单元其中，N是正整数的层叠结构，所述层叠单元从所述有源层所在的一侧依次包括低折射率层、第一渐变层、高折射率层和第二渐变层，所述低折射率层在所述层叠单元中包括的层中具有最低的折射率，所述高折射率层在所述层叠单元中包括的层中具有最高的折射率，所述第一渐变层的折射率随着在层叠方向上到与所述第一渐变层相邻的所述低折射率层的距离而增大，所述第二渐变层的折射率随着在层叠方向上到与所述第二渐变层相邻的所述高折射率层的距离而减小，并且当从所述有源层所在的一侧起第M其中，M是满足2≦M≦N的整数个所述层叠单元中包括的所述低折射率层、所述第一渐变层、所述高折射率层和所述第二渐变层的平均杂质浓度分别是CM1、CM2、CM3和CM4、并且从所述有源层所在的一侧起第M-1个所述层叠单元中包括的所述第一渐变层的平均杂质浓度是CM2-1时，则CM2≧CM1、CM2≧CM3、CM2≧CM4并且CM2≧CM2-1。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 索尼半导体解决方案公司 垂直腔面发射激光器
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