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撕胶装置和撕胶方法 

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申请/专利权人:长江存储科技有限责任公司

摘要:本申请涉及一种撕胶装置及撕胶方法,该撕胶装置包括:工作台面;固定单元,固定单元被配置为将待撕胶件固定于工作台面上,待撕胶件包括支撑胶层以及粘接于支撑胶层一侧的至少一个工件,支撑胶层上设有至少一个工件的一侧朝向工作台面;导向辊和分离单元,分离单元被配置为将支撑胶层经过导向辊导向后以预设角度与工件分离,预设角度小于90度。从而,避免了将支撑胶层以与工件垂直的角度撕除,因而能够减小对工件的损伤,进而能够降低产品隐裂的风险,以提高产品的可靠性。

主权项:1.一种撕胶装置,其特征在于,包括:工作台面;固定单元,所述固定单元被配置为将待撕胶件固定于所述工作台面上,所述待撕胶件包括支撑胶层以及粘接于所述支撑胶层一侧的至少一个工件,所述支撑胶层上设有所述至少一个工件的一侧朝向所述工作台面;导向辊和分离单元,所述分离单元被配置为将所述支撑胶层经过所述导向辊导向后以预设角度与所述工件分离,所述预设角度小于90度。

全文数据:

权利要求:

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