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申请/专利权人：佳能特机株式会社
摘要：本发明提供一种成膜装置以及成膜方法，能够抑制成膜品质的降低。成膜装置1具备：基板保持部231，所述基板保持部保持基板8；成膜源101，所述成膜源在内部收容成膜材料，并朝向保持于基板保持部231的基板8放出成膜物质；移动机构，所述移动机构使成膜源101移动；相对位置调整部220，所述相对位置调整部能够调整成膜源101相对于保持于基板保持部231的基板8的相对位置关系；以及相对位置检测部103，所述相对位置检测部检测与相对位置关系相关的信息，所述成膜装置还具备控制部400，所述控制部基于相对位置检测部103的检测结果来控制相对位置调整部220，以便调整相对位置关系。
主权项：1.一种成膜装置，其特征在于，所述成膜装置具备：基板保持部，所述基板保持部保持基板；成膜源，所述成膜源在内部收容成膜材料，并朝向保持于所述基板保持部的基板放出成膜物质；移动机构，所述移动机构使所述成膜源移动；相对位置调整部，所述相对位置调整部能够调整所述成膜源相对于保持于所述基板保持部的基板的相对位置关系；以及相对位置检测部，所述相对位置检测部检测与所述相对位置关系相关的信息，所述成膜装置还具备控制部，所述控制部基于所述相对位置检测部的检测结果来控制所述相对位置调整部，以便调整所述相对位置关系。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 佳能特机株式会社 成膜装置以及成膜方法
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