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申请/专利权人：无锡先为科技有限公司
摘要：本申请提供一种成膜装置，包括反应室、基座和进气模块，反应室包括一顶盖，所述顶盖中部开设有一安装孔；基座设置于所述反应室内，并与所述顶盖相对设置；进气模块设于所述安装孔内，且底部延伸至所述反应室内；所述进气模块包括第一主体与第二主体，所述第一主体包括工艺气流通道与冷却流道，所述冷却流道自所述第一主体的顶部向其底部延伸设置；所述第二主体包括清洁气流通道；所述清洁气流通道至少部分与所述冷却流道相邻，所述安装孔的孔壁与所述进气模块的外侧壁之间存在间隙，以使得清洁气体的温度控制效果更好。
主权项：1.一种成膜装置，其特征在于，包括：反应室，其包括一顶盖，所述顶盖中部开设有一安装孔；基座，其设置于所述反应室内，并与所述顶盖相对设置；以及进气模块，其设于所述安装孔内，且底部延伸至所述反应室内；所述进气模块包括第一主体与第二主体，所述第一主体包括工艺气流通道与冷却流道，所述冷却流道自所述第一主体的顶部向其底部延伸设置；所述第二主体包括清洁气流通道；所述清洁气流通道至少部分与所述冷却流道相邻；其中，所述安装孔的孔壁与所述进气模块的外侧壁之间存在间隙；柱状的所述第一主体，其设于所述安装孔内，且其底部延伸至所述反应室内；以及环状的所述第二主体，其突出于所述第一主体的外侧壁，且位于所述安装孔内；所述第二主体的外侧壁与所述安装孔的孔壁之间存在间隙。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡先为科技有限公司 成膜装置
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