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申请/专利权人:无锡先为科技有限公司
摘要:本申请提供一种成膜装置,包括反应室、基座和进气模块,反应室包括一顶盖,所述顶盖中部开设有一安装孔;基座设置于所述反应室内,并与所述顶盖相对设置;进气模块设于所述安装孔内,且底部延伸至所述反应室内;所述进气模块包括第一主体与第二主体,所述第一主体包括工艺气流通道与冷却流道,所述冷却流道自所述第一主体的顶部向其底部延伸设置;所述第二主体包括清洁气流通道;所述清洁气流通道至少部分与所述冷却流道相邻,所述安装孔的孔壁与所述进气模块的外侧壁之间存在间隙,以使得清洁气体的温度控制效果更好。
主权项:1.一种成膜装置,其特征在于,包括:反应室,其包括一顶盖,所述顶盖中部开设有一安装孔;基座,其设置于所述反应室内,并与所述顶盖相对设置;以及进气模块,其设于所述安装孔内,且底部延伸至所述反应室内;所述进气模块包括第一主体与第二主体,所述第一主体包括工艺气流通道与冷却流道,所述冷却流道自所述第一主体的顶部向其底部延伸设置;所述第二主体包括清洁气流通道;所述清洁气流通道至少部分与所述冷却流道相邻;其中,所述安装孔的孔壁与所述进气模块的外侧壁之间存在间隙;柱状的所述第一主体,其设于所述安装孔内,且其底部延伸至所述反应室内;以及环状的所述第二主体,其突出于所述第一主体的外侧壁,且位于所述安装孔内;所述第二主体的外侧壁与所述安装孔的孔壁之间存在间隙。
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权利要求:
百度查询: 无锡先为科技有限公司 成膜装置
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