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申请/专利权人：深圳市龙图光罩股份有限公司
摘要：本实用新型公开一种刷洗装置，用于清洗掩模版，所述刷洗装置包括承载架、清洗件以及第一驱动件，所述承载架用于承载所述掩模版；所述清洗件包括清洁杆和清洁刷，所述清洁刷设于所述清洁杆的一端；所述第一驱动件的驱动端与所述清洁杆远离所述清洁刷的一端连接，用以驱动所述清洁杆带动所述清洁刷靠近或远离所述承载架移动，以对所述掩模版进行刷洗。在本实用新型技术方案中，采用所述刷洗装置对掩模版进行清洗，不需要投入大量的人力，并且刷洗质量基本一致，保证了掩模版清洗的质量稳定性，也避免了在清洗过程中人工接触清洗液，对工作人员的安全造成影响，此结构设置在提高掩模版清洗效率的同时提高了掩模版清洗质量的稳定性。
主权项：1.一种刷洗装置，用于清洗掩模版，其特征在于，包括：承载架，所述承载架用于承载所述掩模版；清洗件，所述清洗件包括清洁杆和清洁刷，所述清洁刷设于所述清洁杆的一端；以及第一驱动件，所述第一驱动件的驱动端与所述清洁杆远离所述清洁刷的一端连接，用以驱动所述清洁杆带动所述清洁刷靠近或远离所述承载架移动，以对所述掩模版进行刷洗。
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权利要求：
百度查询： 深圳市龙图光罩股份有限公司 刷洗装置
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