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申请/专利权人：苏州天准科技股份有限公司
摘要：本发明提供了一种掩模版和载物台的兼容检测装置和兼容检测方法，属于半导体检测加工领域，兼容检测装置包括相机组件、掩模版吸附框、掩模版和载物台；相机组件设置在掩模版吸附框上方，掩模版设置在掩模版吸附框处。本申请的相机组件上下占用空间小，景深范围可兼容掩模版上下表面和载物台上表面三个待测面，检测效果好，提高了整体效率，便于在半导体检测和加工领域推广应用。
主权项：1.一种掩模版和载物台的兼容检测装置，其特征在于：所述兼容检测装置包括相机组件（1）、掩模版吸附框（2）、掩模版（3）和载物台（4）；所述相机组件（1）设置在掩模版吸附框（2）上方，所述掩模版（3）设置在掩模版吸附框（2）处；相机组件（1）的景深范围兼容掩模版（3）的上、下表面和载物台（4）的上表面三个待检测面清晰成像。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州天准科技股份有限公司 掩模版和载物台的兼容检测装置和兼容检测方法
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