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申请/专利权人：无锡卓海科技股份有限公司
摘要：本发明公开一种预定位装置的改造方法、改造装置及电子设备，预定位装置包括光源、图像传感器和硅光传感器，该方法包括：对光源进行供电电压和光源位置调整，并对图像传感器的数值化阈值进行调整；基于图像传感器的光分布信号识别晶圆状态；晶圆状态包括无晶圆状态、透明晶圆状态和非透明晶圆状态；根据晶圆状态调整光强信号通路；其中，光强信号通路包括采样信号输出通路和仿真信号输出通路。本发明通过识别晶圆状态，调整预定位装置的配置参数，并对应切换采样信号输出通路和仿真信号输出通路，使预定位装置能够兼容不同类型晶圆的使用场景，改造方案简单，成本低，提高设备的使用价值和市场价值。
主权项：1.一种预定位装置的改造方法，所述预定位装置用于对半导体研磨设备中的晶圆进行定位检测，所述预定位装置包括光源、图像传感器和硅光传感器，其特征在于，所述方法包括：对所述光源进行供电电压和光源位置调整，并对所述图像传感器的数值化阈值进行调整；基于所述图像传感器的光分布信号识别晶圆状态；所述晶圆状态包括无晶圆状态、透明晶圆状态和非透明晶圆状态；根据所述晶圆状态调整光强信号通路；其中，所述光强信号通路包括采样信号输出通路和仿真信号输出通路；所述基于所述图像传感器的光分布信号识别晶圆状态，包括：获取所述光分布信号在单个帧周期内的边沿信号；根据所述边沿信号的位置和数量识别所述晶圆状态；所述根据所述边沿信号的位置和数量识别所述晶圆状态，包括：获取所述单个帧周期内的预设晶圆边缘位置；基于所述预设晶圆边缘位置配置第一边沿基准线和第二边沿基准线；在所述边沿信号出现在所述第一边沿基准线之前，且所述边沿信号的数量等于1时，将所述晶圆状态确定为所述无晶圆状态；在所述边沿信号出现在所述第一边沿基准线之后，且所述边沿信号的数量等于1时，将所述晶圆状态确定为所述非透明晶圆状态；在所述边沿信号的数量大于1时，将所述晶圆状态确定为所述透明晶圆状态。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡卓海科技股份有限公司 预定位装置的改造方法、改造装置及电子设备
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