龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：南京大学
摘要：本申请公开了一种耦合振膜的压电微机电扬声器，属于电声微扬声器领域，包括：振膜层，由SOI硅片经正反两面刻蚀形成；其中，反面刻蚀出背腔，用于提供声学腔体；正面刻蚀出弹簧结构，用于连接振膜层和SOI硅片基底部分；驱动层，由SOI硅片和压电多层膜组成；压电多层膜包含PZT层、顶电极和底电极；驱动层经刻蚀后形成悬臂梁结构和驱动层基底部分。针对现有技术中存在的微机电扬声器在中低频段频率响应不足的问题，本申请提供了一种耦合振膜的压电微机电扬声器，通过提高振动有效面积的同时，通过悬臂梁结构尽可能增大振膜位移振幅，实现声体积速度的最大值，从而有效提高扬声器的中低频响应。
主权项：1.一种耦合振膜的压电微机电扬声器，包括：振膜层，由SOI硅片经正反两面刻蚀形成；其中，反面刻蚀出背腔，用于提供声学腔体；正面刻蚀出弹簧结构，用于连接振膜层和SOI硅片基底部分；驱动层，由SOI硅片和压电多层膜组成；压电多层膜包含PZT层、顶电极和底电极；驱动层经刻蚀后形成悬臂梁结构和驱动层基底部分。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 南京大学 一种耦合振膜的压电微机电扬声器
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号