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申请/专利权人：云际芯光(珠海)微电子有限公司;天津大学
摘要：本发明提供一种微机械压电超声换能器及其制备方法，该换能器包括：多个换能器单元，换能器单元包括由下至上层叠的衬底、种子层、底电极、压电层和顶电极，衬底的底部中心贯穿向上设置有空腔；底电极覆盖在种子层上方，压电层包括压电部和若干个引线支撑部，引线支撑部从压电部延伸至底电极的边缘；顶电极包括顶电部和若干引线，顶电部、压电部和空腔同轴设置，一根引线设置在一个引线支撑部的上方，引线沿着引线支撑部的长度方向从顶电部延伸至底电极的边缘的上方；换能器单元之间通过引线和底电极直接连接，本发明可以方便换能器单元之间的互联，具有发射和接收灵敏度高的优点。本发明提供的上述换能器的制备方法，工艺简单，且晶圆利用率高。
主权项：1.一种微机械压电超声换能器，其特征在于，包括：多个换能器单元，所述换能器单元包括由下至上层叠的衬底、种子层、底电极、压电层和顶电极，所述衬底包括由下至上层叠的底硅、埋氧层和结构硅层，所述底硅的底部中心贯穿向上与埋氧层之间设置有空腔；所述底电极覆盖在所述种子层上方，所述压电层包括压电部和若干个引线支撑部，所述压电部与所述空腔同轴设置，所述引线支撑部与所述压电部连接并从所述压电部延伸至所述底电极的边缘；所述顶电极包括顶电部和若干引线，所述顶电部与所述压电部同轴设置，一根所述引线设置在一个所述引线支撑部的上方，所述引线连接所述顶电部并沿着所述引线支撑部的长度方向从所述顶电部延伸至所述底电极的边缘的上方；所述顶电部、所述底电部和所述空腔为相同形状的结构；一个所述换能器单元的底电极与另一个所述换能器单元的底电极连接，一个所述换能器单元的引线与另一个所述换能器单元的引线连接。
全文数据：
权利要求：
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