龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：国立大学法人丰桥技术科学大学;OSG株式会社
摘要：本发明的课题是提供一种成膜装置，通过在阴极部与被处理物之间配置具备产生磁场的功能的阳极部，能够减少从阴极放出的粒子向磁场产生部本身的附着，并且能够有效地形成作为从阴极放出的副产微粒子的小滴的附着少的蒸镀膜。解决问题的技术手段是成膜装置通过进行电弧放电而产生等离子体的等离子体产生单元，使构成阴极的阴极材料蒸发而在被处理物的表面蒸镀形成膜。等离子体产生单元具备阴极部、与阴极部具有适当间隔地配置的阳极部、磁场产生部及保护部件。磁场产生部由阳极部构成，或与阳极部一体地或者连续地构成，通过由电弧放电产生的电流而产生磁场。保护部件由阳极部的一部分构成，或者与阳极部电连接并且独立地构成，配置于等离子体流所流下的区域的外侧而保护磁场产生部的一部分或全部免受阴极材料的附着的影响。
主权项：1.一种成膜装置，具备等离子体产生单元，该等离子体产生单元在真空中在经由电源连接的阴极与阳极之间进行电弧放电而产生等离子体，所述成膜装置使构成所述阴极的阴极材料蒸发而在被处理物的表面蒸镀形成膜，所述成膜装置的特征在于，所述等离子体产生单元具备：阴极部；阳极部，与该阴极部具有适当间隔地配置；磁场产生部，由该阳极部构成，或者与该阳极部一体地或连续地构成，通过电弧放电本身的自身电流而产生磁场；及保护部件，由所述阳极部的一部分构成，或者与该阳极部电连接并且独立地构成，或者由所述磁场产生部的一部分代替，所述保护部件配置于该磁场产生部与等离子体之间的位置而保护该磁场产生部的一部分或全部免受阴极材料的影响。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 国立大学法人丰桥技术科学大学 OSG株式会社 成膜装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号