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申请/专利权人：SDA有限公司
摘要：公开一种可调型微机电系统MEMS探针卡。根据实施例，在由上部板以及下部板结合而成且在其内部安装有多个探针的微机电系统MEMS探针卡中，在上部板上形成多个第1针孔，包括形成于第1针孔的一侧的第1空间以及形成于第1针孔的另一侧的第2空间，上述第1空间的宽度大于第2空间。借此，可以通过改善探针的弯曲性能而缩短间距，而且可以通过上部板与下部板结合之后的各个第1针孔与第2针孔的位置偏差二进一步提升探针的弯曲性能，从而在与设备接触时更加弹性地实现弯曲。
主权项：1.一种可调型微机电系统探针卡，其特征在于：在由上部板以及下部板结合而成且在其内部安装有多个探针的微机电系统探针卡中，在上述上部板上形成多个第1针孔，包括形成于第1针孔的一侧的第1空间以及形成于第1针孔的另一侧的第2空间，上述第1空间的宽度大于第2空间，上述探针包括：主体、在上述主体的上端形成的头部以及在主体的下端尖锐形成的前端部，上述主体的宽度a大于厚度b，以使能够控制上述探针的压曲方向并且能够缩短多个上述探针间的间距，在上述探针在主体的两侧面形成有多个凹槽，从而形成有凹槽的部位的厚度变得更薄。
全文数据：
权利要求：
百度查询： SDA有限公司 可调型微机电系统探针卡及其装配方法
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