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申请/专利权人：应用材料公司

摘要：一种电源电路包括：可切换匹配；可连接至负载的高电压总线和低电压总线，使得负载串联在总线之间；至少两个具有固定电容的电容器，所述至少两个具有固定电容的电容器可连接在高电压总线和低电压总线之间；以及多个固态开关，所述多个固态开关在数量上等于可连接在高电压总线和低电压总线之间的具有固定电容的电容器的数量，每个开关经配置且经布置以将高电压总线和低电压总线之间的电容器中的一者连接进高电压总线和低电压总线之间的电通信中或与所述电通信断开；以及变频电源，所述变频电源包括高电压输出连接，所述高电压连接连接至高电压总线。

主权项：1.一种电源电路，包括：可切换匹配，所述可切换匹配被配置成响应于负载的变化改变所述可切换匹配的电气特性，所述可切换匹配连接至所述负载，所述可切换匹配包括：高电压总线，所述高电压总线能连接至所述负载；低电压总线，所述低电压总线能连接至所述负载，使得所述负载串联在所述高电压总线与所述低电压总线之间；至少两个具有固定电容值的电容器，所述至少两个具有固定电容值的电容器能选择性地连接在所述高电压总线与所述低电压总线之间；以及多个固态开关，所述多个固态开关在数量上等于能连接在所述高电压总线与所述低电压总线之间的具有固定电容值的电容器的数量，每个开关经配置且经布置以选择性地将能选择性地连接在所述高电压总线与所述低电压总线之间的具有固定电容值的所述电容器中的一者连接进所述高电压总线与所述低电压总线之间的电通信或与所述电通信断开；以及变频电源电路，所述变频电源电路包括可操作地连接到高电压输出连接的变频电源，所述高电压输出连接连接至所述高电压总线，其中所述可切换匹配经配置为包括：第一固定电容，所述第一固定电容包括电连接在所述高电压总线与所述低电压总线之间的具有固定电容值的所述电容器中的一个或多个电容器的电容的总和，并且通过电连接在所述高电压总线与所述低电压总线之间的所述第一固定电容，所述可切换匹配被配置成在所述负载的电阻和电抗值的第一范围内将由所述变频电源向所述可切换匹配传输的功率的较高百分比传输至与所述可切换匹配连接的所述负载，并且在所述负载的电阻和电抗值的第二范围内将由所述变频电源向所述可切换匹配传输的所述功率的较低百分比传输至与所述可切换匹配连接的所述负载；以及第二固定电容，所述第二固定电容包括电连接在所述高电压总线与所述低电压总线之间的具有固定电容值的所述电容器中与提供所述第一固定电容的那些具有固定电容值的所述电容器不同的一个或多个电容器的电容的总和，并且通过电连接在所述高电压总线与所述低电压总线之间的所述第二固定电容，所述可切换匹配被配置成在所述负载的电阻和电抗值的第三范围内将由所述变频电源向所述可切换匹配传输的所述功率的较高百分比传输至与所述可切换匹配连接的所述负载，并且在所述负载的电阻和电抗值的第四范围内将由所述变频电源向所述可切换匹配传输的所述功率的较低百分比传输至与所述可切换匹配连接的所述负载，所述第三范围不同于所述第一范围。

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百度查询： 应用材料公司 具有可切换匹配和频率调节的RF功率传输架构