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申请/专利权人：山东省宝丰镀膜有限公司
摘要：本申请公开了一种降低保护触发频率的溅射镀膜电源控制系统，属于直流溅射镀膜领域，包括信号采集子系统、启动控制子系统、稳态控制子系统以及暂态控制子系统，信号采集系统提供计算功率所需的电压和电流信号，启动控制子系统根据负载的特性进行升压和降速输入的控制，当负载呈电晕放电特性时，通过电压积分控制模块输入控制实现快速升压，当负载特性进入辉光放电区域时，通过电流积分控制模块输入信号实现降速输入，并记录此时的电压作为恒功率输出的电压依据，计算出目标电流，稳态控制子系统，维持输出电压的稳定，确保系统处于稳定状态，在负载进入弧光放电时，通过暂态移相控制降低电流，减少保护动作，快速恢复系统正常工作状态。
主权项：1.一种降低保护触发频率的溅射镀膜电源控制系统，其特征在于，包括信号采集子系统、启动控制子系统、稳态控制子系统以及暂态控制子系统，所述信号采集子系统输入端与直流输出端电连接，输出端分别与启动控制子系统、稳态控制子系统、暂态控制子系统电连接；信号采集子系统包括电压信号采集模块和电流信号采集模块，提供计算功率所需电压电流且提供控制模式切换所需信号数据支持；启动控制子系统包括切换积分器、电压积分控制模块以及电流积分控制模块，启动电源，负载呈电晕放电特性，切换积分器以电压积分控制模块输入信号控制实现快速升压；负载特性进入辉光放电区域，切换积分器以电流比例模块输入信号控制实现降速输入，并记录此时电压以作为恒功率输出的电压依据，计算出目标电流；稳态控制子系统包括电流滞环控制模块、控制切换模块、滑模控制模块、计时锁存模块，电流滞环控制模块维持输出功率在指定功率附近范围，控制切换模块切换滑模控制模块输入，切换积分器记录输出积分值，计时锁存模块根据输入量来计算对应的PWM周期，并保持输出一个周期，从而保证输出电压稳定；暂态控制子系统与滑模控制模块同时启动，负载进入弧光放电，根据采样电流上升值输出暂态移相控制值进行暂态移相，降低电流，控制切换模块切换至切换积分器输入，切换积分器输出储存的积分值，快速切回滑模控制模块输入，回复正常工作状态，以此减少保护动作。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 山东省宝丰镀膜有限公司 一种降低保护触发频率的溅射镀膜电源控制系统
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