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申请/专利权人：广州市艾佛光通科技有限公司

摘要：本发明公开了一种曝光设备及其控制方法，属于光刻技术领域，包括主动隔振台、两个标记识别装置和一个曝光装置，主动隔振台包括相互独立的两个分区，两个分区均用于放置晶圆；两个标记识别装置活动设置在主动隔振台的上方且每个标记识别装置均能够在对应的一个分区的范围内活动；标记识别装置用于识别晶圆上的标记；曝光装置活动设置在主动隔振台的上方且位于两个标记识别装置之间，曝光装置能够在两个分区的范围内活动且用于在标记识别装置识别其中一个分区内的晶圆上的标记时对另一个分区内的晶圆进行曝光。本发明的曝光设备能够有效提高曝光工艺的处理速度，大大提高生产效率。

主权项：1.一种控制方法，应用于曝光设备，其特征在于，所述曝光设备包括：主动隔振台（100），所述主动隔振台（100）包括相互独立的两个分区（110），两个所述分区（110）均用于放置晶圆；两个标记识别装置（200），两个所述标记识别装置（200）活动设置在所述主动隔振台（100）的上方且每个所述标记识别装置（200）均能够在对应的一个所述分区（110）的范围内活动；所述标记识别装置（200）用于识别所述晶圆上的标记；一个曝光装置（300），所述曝光装置（300）活动设置在所述主动隔振台（100）的上方且位于两个所述标记识别装置（200）之间，所述曝光装置（300）能够在两个所述分区（110）的范围内活动且用于在所述标记识别装置（200）识别其中一个所述分区（110）内的晶圆上的标记时对另一个所述分区（110）内的晶圆进行曝光；所述控制方法包括以下步骤：S1.控制所述曝光装置移动到其中一个所述分区的上方并曝光该分区内的晶圆；S2.在所述曝光装置对晶圆进行曝光时，控制对应的一个所述标记识别装置移动到另一个所述分区的上方并识别该分区内的晶圆上的标记；所述曝光设备包括载物台、第一激光扫描装置、第二激光扫描装置、第一激光信号接收装置和第二激光信号接收装置，所述第一激光信号接收装置用于接收所述第一激光扫描装置发射的激光光束并转换成第一电信号；所述第二激光信号接收装置用于接收所述第二激光扫描装置发射的激光光束并转换成第二电信号；步骤S2中的具体步骤包括：A1.控制所述第一激光扫描装置沿左右移动并在移动过程中循环执行以下步骤：A11.当所述第一电信号中断时，记录所述第一激光扫描装置的位置并作为第一横坐标；A12.当所述第一电信号恢复时，记录所述第一激光扫描装置的位置并作为第二横坐标；A2.控制所述第二激光扫描装置沿前后移动并在移动过程中循环执行以下步骤：A21.当所述第二电信号中断时，记录所述第二激光扫描装置的位置并作为第一纵坐标；A22.当所述第二电信号恢复时，记录所述第二激光扫描装置的位置并作为第二纵坐标；A3.根据所述第一横坐标和所述第二横坐标获取第一中心横坐标；A4.根据所述第一纵坐标和所述第二纵坐标获取第一中心纵坐标；A5.根据所述第一中心横坐标和所述第一中心纵坐标控制所述标记识别装置移动。

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